臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧氣體分為三種氣體（氣源），分別是空氣源、富氧源、液氧源。富氧源和液氧源也可以成為氧氣源。

空氣源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是通過空壓機將空氣壓縮到一定壓力（常規(guī)壓力0.7-0.8Mpa），經(jīng)過冷干機、吸附式干燥機、高效油水分離器、三級精密過濾除油除水除塵處理之后進入儲氣罐，最后進過進氣壓力調(diào)整流入臭氧放電室。

富氧源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是通過空壓機將空氣壓縮到一定壓力（常規(guī)壓力0.7-0.8Mpa），經(jīng)過冷干機、吸附式制氧機、高效油水分離器、活性炭過濾器、三級過濾除油除水除塵處理之后進入儲氣罐，最后進過進氣壓力調(diào)整流入臭氧放電室。

液氧源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是將液氧站里的液態(tài)氧通過氣化器氣化成臭氧發(fā)生器所需的氣態(tài)氧氣再經(jīng)過穩(wěn)壓裝置穩(wěn)壓穩(wěn)流之后流入臭氧放電室。