高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;

與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);

在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。